截至2026年3月27日 13点18分，半导体设备午后涨幅扩大，科创半导体ETF华夏（588170）上涨3.14%，半导体设备ETF华夏（562590）上涨2.57%。规模方面，科创半导体ETF华夏近1年规模增长75.13亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达24.33亿元。

热门个股方面，欧莱新材上涨9.65%，先锋精科上涨9.62%，安集科技上涨8.67%，中船特气，和林微纳等个股跟涨。

国泰海通证券认为，受益于大型云厂商及AI初创公司对算力基建的持续投入，以台积电为代表的晶圆厂5nm以下先进制程连续涨价，同时加速减产8英寸成熟产线；供给侧的主动收缩叠加原材料价格高位震荡，被迫推升了成熟制程的价格中枢。这将推动代工企业积极扩产，利好上游设备等产业链。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357）：跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮。

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