截至2026年3月10日09:41，科创半导体ETF（588170）上涨2.65%，半导体设备ETF华夏（562590）上涨2.76%。

热门个股方面，欧莱新材上涨8.14%，华海诚科上涨6.64%，和林微纳上涨6.05%，中微公司，富创精密等个股跟涨。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手1.42%，成交1.23亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手1.28%，成交3482.51万元。

规模方面，科创半导体ETF近2周规模增长2.68亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏近1周规模增长1014.64万元，实现显著增长。

资金流入方面，科创半导体ETF近3天获得连续资金净流入，最高单日获得1.34亿元净流入，合计”吸金”2.24亿元，日均净流入达7451.23万元；半导体设备ETF华夏近5天获得连续资金净流入，最高单日获得1.27亿元净流入，合计“吸金”2.07亿元，日均净流入达4137.57万元。

相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。

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